分析探针台T2000

显微镜成像系统技术参数:
●无限远光学系统,管镜焦距200mm
●铰链式三目镜筒,30°倾斜,瞳距55-75mm
●高眼点,大视场目镜WF10X/25
●长工作距离,平场复消色差物镜2X/0.055,5X/0.14,10X0.28,20X/0.29,50X/0.42
●五孔物镜转换器,物镜螺纹M26X0.706
●同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
●100W卤素灯光纤照明
●1800万象素高清数码成像采集系统
●imageAnalysisSyste11.0专业的图像预览分析App
探针台部分技术参数:
?尺寸:500mmW*500mmD*700mmH
?6"卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品,均独立控制,中心吸附孔最小可以选择250微米
?卡盘平整度:5μm,标准卡盘可360度无间隙旋转
?卡盘旋转微调+-15°,调节精度0.1°
?卡盘微调升降,行程4mm,精度1微米
?卡盘X/Y轴无间隙移动,采用大手柄旋转控制,行程:6英寸X6英寸,移动精度:1um,并带锁死装置
?可调节显微镜在X-Y平面2"x2"范围内移动,精度1微米(系统不包含显微镜)
?可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带自动锁定功能
?平台快速升降行程6mm并带自动锁定功能
?平台上下微调行程25mm,升降精度1um
?平台可升降调节适合加装探针卡,便于针卡重定位